退火爐是在半導(dǎo)體器材制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的作用而設(shè)計(jì)的�？梢约訜峋约せ顡诫s劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使細(xì)密沉積的薄膜，改動(dòng)生長的薄膜的狀態(tài)，批改注入的危害，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。罩式退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或許可以自己處理。
退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備結(jié)束的。退火爐是節(jié)能型周期式工作爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，選用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%。
罩式退火爐首要用于在天然氣氛中進(jìn)行薄板材退火以及鋼件的正火處理。1、特殊鋼、精細(xì)合金、大型全纖維臺(tái)車式電阻爐闡明帶材、線材的亮光退火。2、特殊鋼鑄、鍛件的退火。3、硅鋼片制品退火。4、金屬、非金屬粉末約束造件的燒結(jié)等。
罩式退火歸于亮光退火工藝，退貨前將罐中的空氣抽出，在灌入氮?dú)饣蛟S惰性氣體，然后通電加熱，燒到多少度、在多少度堅(jiān)持多長時(shí)間、然后再逐步天然降溫，有一整套退火溫度控制曲線。工作時(shí)，工件置于充溢維護(hù)氣氛的維護(hù)罩內(nèi)均勻加熱和冷卻。強(qiáng)循環(huán)風(fēng)機(jī)和維護(hù)氣氛可使退火后的工件取得均勻的硬度和亮光的外表，真空體系用于維護(hù)氣和空氣的置換，使操作安全可靠。
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